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硅电容器

硅电容器是一种新型电容器,以硅为衬底,采用MEMS制造工艺制造而成,其电介质可为氧化硅/氮化硅/氧化硅-氮化硅复合膜,全球只有少量几家制造商研发和生产,著名制造商有IPDIA(Murata)、M/A-COM、Skywork。

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