SiTime SiT1566 系列 MEMs TCXO 是超小型微功耗 32.768 kHz TCXO，针对电池供电型应用进行了优化。SiTime 的专利 TempFlat MEMS™ 技术实现了首个 1.2 mm2 芯片级封装的世界上体积最小的 32 kHz ±5 ppm Super-TCXO。典型内核供电电流仅为 4.5 μA。SiT1566 在多个温度点经过工厂校准，以保证 -40°C 至 +85°C 的温度范围内 ±5 ppm 的极高频率稳定性。
SiTime 的 MEMS 振荡器包括一个 MEMS 谐振器和一个可编程的模拟电路。SiT1566 MEMS 谐振器采用 SiTime 的独特的 MEMS First™ 工艺。关键制造步骤是 EpiSeal™，让 MEMS 谐振器在温度超过 1000 °C 时退火。EpiSeal 创造了极其牢固、干净的真空室来封装 MEMS 谐振器，可确保最佳的性能和可靠性。