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    FS1012/2012 高性能 MEMS 流量传感器模块

    FS1012/2012 高性能 MEMS 流量传感器模块

    IDT 的 FS1012 和 FS2012 质量流量传感器模块(High-Performance MEMS Flow Sensor Modules)非常适合用在工业过程、保健和医疗和汽车市场

    发布时间:2018-06-14

    IDT 的固态质量流量模块采用热传输(测热)原理,用于测量流经感测表面的气体或液体流量。这种微型流量传感器采用一系列 MEMS 热电偶,具有出色的信噪比。凭借固态热隔离式有源 MEMS 感测元件和硅化碳薄膜涂层,IDT 流量传感器实现了出色的耐磨性能和长期可靠性。
    IDT 推出一种非校准型毫伏输出或全校准、线性化版本,用于液体或气体,其典型精确度低至读数的 2%。

    FS1012/2012 高性能 MEMS 流量传感器模块特性

    • 测量气体或液体流量

    • MEMS 热电堆检测

    • MEMS 流量传感器上采用碳化硅涂层

    • 可靠的固态隔离技术

    • MEMS 元件中无空腔,不会造成堵塞

    • 抗振动、抗压力冲击

    • 高精度,高度灵敏

    • 快速响应时间

    • 易于清洁和灭菌

    • 3 VDC 至 5 VDC 电源选择

    • 食品级版本

    FS1012/2012 高性能 MEMS 流量传感器模块应用

    1. 工业过程

    2. 医疗保健

    3. 医疗设备

    4. 汽车系统

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