
FS1012/2012 高性能 MEMS 流量传感器模块

IDT 的 FS1012 和 FS2012 质量流量传感器模块(High-Performance MEMS Flow Sensor Modules)非常适合用在工业过程、保健和医疗和汽车市场
发布时间:2018-06-14
IDT 的固态质量流量模块采用热传输(测热)原理,用于测量流经感测表面的气体或液体流量。这种微型流量传感器采用一系列 MEMS 热电偶,具有出色的信噪比。凭借固态热隔离式有源 MEMS 感测元件和硅化碳薄膜涂层,IDT 流量传感器实现了出色的耐磨性能和长期可靠性。
IDT 推出一种非校准型毫伏输出或全校准、线性化版本,用于液体或气体,其典型精确度低至读数的 2%。
FS1012/2012 高性能 MEMS 流量传感器模块特性
测量气体或液体流量
MEMS 热电堆检测
MEMS 流量传感器上采用碳化硅涂层
可靠的固态隔离技术
MEMS 元件中无空腔,不会造成堵塞
抗振动、抗压力冲击
高精度,高度灵敏
快速响应时间
易于清洁和灭菌
3 VDC 至 5 VDC 电源选择
食品级版本
FS1012/2012 高性能 MEMS 流量传感器模块应用
工业过程
医疗保健
医疗设备
汽车系统
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