IDT 的固态质量流量模块采用热传输（测热）原理，用于测量流经感测表面的气体或液体流量。这种微型流量传感器采用一系列 MEMS 热电偶，具有出色的信噪比。凭借固态热隔离式有源 MEMS 感测元件和硅化碳薄膜涂层，IDT 流量传感器实现了出色的耐磨性能和长期可靠性。
IDT 推出一种非校准型毫伏输出或全校准、线性化版本，用于液体或气体，其典型精确度低至读数的 2%。