SiTime 微机电系统 (MEMS) kHz 振荡器是极小的低功耗 32 kHz 器件，针对移动和其他电池供电应用进行了优化。硅 MEMS 技术实现了超小尺寸和芯片级封装。这些器件可实现更大的元件布局灵活性，并消除了外部负载电容，从而节省了额外的元件数量和电路板空间。SiTime 采用 NanoDrive™ 技术，这是一种工厂可编程输出，可降低电压摆幅，从而最大限度地降低功耗。还提供 TempFlat MEMS™ 技术，该技术可在 1.2 mm x 1.2 mm 的封装内实现首个 32 kHz ±3 百万分之一 (ppm) 超级 TCXO。
SiTime 的 MEMS 振荡器包括一个 MEMS 谐振器和一个可编程模拟电路。kHz MEMS 谐振器采用 SiTime 独特的 MEMS First™ 工艺。关键制造步骤是 EpiSeal™，在此期间 MEMS 谐振器的退火温度超过 +1000°C。EpiSeal 创造了一个极其牢固、干净的真空室来封装 MEMS 谐振器，可确保最佳的性能和可靠性。