欧姆龙家庭MEMS（微机电系统）的流量传感器包括能够测量流速和质量流率的运动具有高重复精度的智能紧凑模型。这些传感器可用于测量1 LPM至50 LPM（升/分钟）的质量流量。MEMS流量芯片实现了高灵敏度。

D6F-P，D6F-V和D6F-W传感器采用了粉尘分离系统（DSS），可用于监控风扇性能，检测计算机和投影仪中堵塞的过滤器，以及商用HVAC系统中的VAV控制。