氯化锂感湿基片的结构为选用传感器的衬底，在上方制作一对金属电极，涂覆一层电解质溶液感湿膜，氯化锂是典型的离子晶体，属于非亲合型电解质，氯化锂溶液中，Li+对极性水分子的吸引力极强，离子水分程度最高。氯化锂感湿膜由氯化锂和聚乙烯醇混合制作，湿敏元件测湿量程较窄，一般氯化锂器件的测量范围在20%RH左右，在测量较宽的湿度范围时，常采用多片组合的方法，在不同的湿区内相同的间隔具有相同的感湿区线，多片组合用线化电阻连接，组合完整的湿度测量器件。
单片氯化锂湿敏器件的感湿特征量电阻，与环境相对湿度（RH）和环境温度（t）之间，呈现指数函数关系 ，公式可表示为R=Roexpα(Φ-Φ0)-Rtexpβ(t-t0) Ro为起始电阻，α为湿度常数，Rt为起始电阻，β为温度常数。
氯化锂湿敏器件的衬底结构分柱状和梳妆，以氯化锂聚乙烯醇涂覆为主要成份的感湿液和制作金质电极是氯化锂湿敏器件的三个组成部分。多年来产品制作不断改进提高，产品性能不断得到改善，氯化锂感湿传感器其特有的长期稳定性是其它感湿材料不可替代的，也是湿度传感器最重要的性能。在产品制作过程中，经过感湿混合液的配制和工艺上的严格控制是保持和发挥这一特性的关健。
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