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声表面波谐振器（SAW resonator）是一种利用声表面波（SAW）在压电材料表面传播的器件。其工作原理基于压电效应，通过输入与输出换能器（Interdigital Transducer, IDT）将电信号转换为机械能，再将机械能转换回电信号。SAW谐振器的核心是声表面波传播路径，通常在石英晶体或其他压电材料上形成。通过在材料表面制作一系列平行、等间距的电极，形成IDT，当高频电信号施加在IDT上时，会在压电材料表面产生声波并沿预定路径传播。

声表面波谐振器的传播速度受材料物理特性和温度影响，通过测量声波传播的时间或相位差，可以获得与传播路径长度相关的信息。此外，声波遇到反射器或散射体时，部分能量会被反射或散射，通过分析这些反射或散射的声波信号，可以获得与反射体或散射体相关的信息。

SAW谐振器广泛应用于射频识别（RFID）、传感器、通信设备等领域。它们具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、可大量生产等优点。SAW谐振器的制作流程包括晶圆清洗、镀金属膜、上光阻、显影、蚀刻、去光阻、切割、封装等步骤。由于其损耗低及选择性高，SAW谐振器适用于各种手机和其他便携式设备。

声表面波谐振器的频率稳定性和温度特性使其在高精度应用中尤为重要。例如，在射频系统中，它们可以作为频率源或滤波器，以确保信号的准确性和稳定性。随着技术的发展，SAW谐振器的设计和应用领域仍在不断扩展，为现代电子设备提供了更多的可能性。

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